FRT. Автоматическая гибридная метрологическая установка MicroProf FS

MicroProf® FS - это полностью автоматизированный прибор для измерения пластин, который можно использовать для широкого спектра применений при производстве полупроводниковых пластин, используя стандартные и индивидуальные решения.Гибкость и универсальность - это ключевые слова, когда речь идет о метрологических решениях для современного кремниевого производства. MicroProf® FS обеспечивает модульный подход для создания полностью автоматизированного мультисенсорного прибора, который может решить все необходимые измерительные задачи.

FRT. Автоматическая гибридная метрологическая установка MicroProf FS

Производитель: FRT

Применение

MicroProf® - это измерительный прибор, который позволяет бесконтактными методами определять различные параметры поверхности и слоёв всех видов. Используемые технологии позволяют минимизировать воздействие на измеряемый объект и практически исключить возможные разрушения слоев.

Устройство базируется на надёжной мультисенсорной технике FRT и предназначен для решения многочисленных измерительных задач в одной системе. С датчиком высокого разрешения CWL можно измерять топографию, шероховатость и контур объекта. Обширный выбор дополнительных датчиков облегчает приспособление к индивидуальным задачам.

Данный прибор может конфигурироваться для измерения пластин разных диаметров:300 мм,200 мм,150 мм,а также нестандартны[, не соответствующих стандартам SEMI.

Системные характеристики
Сенсоры CWL,TTV,сенсор для измерения толщины пленок FT/IRT,сенсор тонких пленок FTR,хроматический линейный сенсор SLS, конфокальный микроскоп,интерферометр белого света и т.д.
Сенсоры Мульти-сенсор
Робот Роботизированная рука
Порт загрузки 2 порта загрузки для пластин 150 мм, 200 мм,300 мм
Тип движения Прямое движение
Тип подшипника Скрещенный роликовый подшипник

Особенности

  • Возможность работы с несколькими датчиками
  • Встроенный термоузел (холодные,горячие держатели)
  • Контрольно-измерительный компьютер с TFT-монитором
  • Простой и эффективный контроль с помощью программы FRT Acquire
  • Полностью автоматизированные 2D и 3D измерения
  • Возможно приобретение дополнительного программного обеспечения для автоматизации автоматизации XT
  • Удобное для пользователя программное обеспечение для оценки FRT Mark III с многочисленными функциями оценки и отображения в соответствии со стандартами DIN-ISO и SEMI
  • Может использоваться с высокой степенью индивидуальной подстройки под задачи, а также может быть расширен в любое время
  • Прочное оборудование, требующее минимального обслуживания
  • Поддержка и консультации клиентов от экспертов FRT