FRT. Автоматическая гибридная метрологическая установка MicroProf FS
MicroProf® FS - это полностью автоматизированный прибор для измерения пластин, который можно использовать для широкого спектра применений при производстве полупроводниковых пластин, используя стандартные и индивидуальные решения.Гибкость и универсальность - это ключевые слова, когда речь идет о метрологических решениях для современного кремниевого производства. MicroProf® FS обеспечивает модульный подход для создания полностью автоматизированного мультисенсорного прибора, который может решить все необходимые измерительные задачи.
Производитель: FRT
Применение
MicroProf® - это измерительный прибор, который позволяет бесконтактными методами определять различные параметры поверхности и слоёв всех видов. Используемые технологии позволяют минимизировать воздействие на измеряемый объект и практически исключить возможные разрушения слоев.
Устройство базируется на надёжной мультисенсорной технике FRT и предназначен для решения многочисленных измерительных задач в одной системе. С датчиком высокого разрешения CWL можно измерять топографию, шероховатость и контур объекта. Обширный выбор дополнительных датчиков облегчает приспособление к индивидуальным задачам.
Данный прибор может конфигурироваться для измерения пластин разных диаметров:300 мм,200 мм,150 мм,а также нестандартны[, не соответствующих стандартам SEMI.
| Системные характеристики | |
| Сенсоры | CWL,TTV,сенсор для измерения толщины пленок FT/IRT,сенсор тонких пленок FTR,хроматический линейный сенсор SLS, конфокальный микроскоп,интерферометр белого света и т.д. |
| Сенсоры | Мульти-сенсор |
| Робот | Роботизированная рука |
| Порт загрузки | 2 порта загрузки для пластин 150 мм, 200 мм,300 мм |
| Тип движения | Прямое движение |
| Тип подшипника | Скрещенный роликовый подшипник |
Особенности
- Возможность работы с несколькими датчиками
- Встроенный термоузел (холодные,горячие держатели)
- Контрольно-измерительный компьютер с TFT-монитором
- Простой и эффективный контроль с помощью программы FRT Acquire
- Полностью автоматизированные 2D и 3D измерения
- Возможно приобретение дополнительного программного обеспечения для автоматизации автоматизации XT
- Удобное для пользователя программное обеспечение для оценки FRT Mark III с многочисленными функциями оценки и отображения в соответствии со стандартами DIN-ISO и SEMI
- Может использоваться с высокой степенью индивидуальной подстройки под задачи, а также может быть расширен в любое время
- Прочное оборудование, требующее минимального обслуживания
- Поддержка и консультации клиентов от экспертов FRT