E+H. MX 202 Автоматический сортировщик пластин

О MX 202

Cортировщики E + H являются лучшим выбором для сортировки геометрических параметров,благодаря своей высокой надежности и пропускной способности между различными этапами изготовления пластин (резки, притирки)

Загрузить PDF файл

E+H. MX 202 Автоматический сортировщик пластин

Производитель: E+H Metrology GMBH

Описание

Установка состоит из автономных модулей измерения и обработки. Каждый модуль имеет свою собственную независимую систему переноса пластин, включающую шаговый двигатель,двойной параллельный полиуретановый транспортер,ремни и сенсорную систему для обнаружения и остановки пластин при центрировании..

Тип измерений 4-21,6-33,8-37
Диапазон толщины 200 - 700,300 - 900,400 - 1000
Диапазон измеряемых дистанций 1,500,1,725 мм
Разрешение/повторяемость 14/+/- 0,1
Абсолютная погрешность толщины +/-0.5 μm
Плоскостная погрешность 0.3μm

Используется для измерений:

  • Параметров толщины (центр thk., Avg. Thk., Min. Thk., Max. Thk., TTV)
  • Глобальные параметры плоскостности (максимальный отрицательный FDP, максимальная позиция FDP, TIR)
  • Параметров деформации (бит-bf, максимальная отрицательная деформация, максимальная деформация, общая деформация)
  • Сопротивления (центральное удельное сопротивление, удельное сопротивление при r / 2, градиент удельного сопротивления)
  • Типа проводимости (P / N)
  • В начале пути транспортного ремня имеется один или/до четырех модулей эмиттера (лифты), он перемещается автоматически, чтобы напрямую подавать пластины.