E+H.MX102 Высокоточная установка для измерения колебания толщины пластины

О серии MX102

MX 102-6 - прибор для измерения толщины и колебаний толщины в центре кремниевых пластин 100 мм, 125 мм и 150 мм.Имеет разрешение 10 нанометров и может адаптироваться к различным параметрам толщины в течение нескольких секунд, диапазон колеблется от 300 до 700 мкм.

MX 102-8 - это аналогичный прибор, предназначенный для измерения пластин толщиной 150 мм и 200 мм. Прежде чем приступать к сканированию пластины, прибор автоматически измерит ее согласно стандартам значений, заложенным в измерительный блок.На каждой пластине размещена пара емкостных датчиков и четыре радиальных профиля. Один из таких профилей состоит из 200 различных показателей толщины и смещен на 45 градусов относительно соседнего.

E+H.MX102 Высокоточная установка для измерения  колебания толщины пластины

Производитель: E+H Metrology GMBH

Принцип измерения

Во время измерения пластина располагается на четырех упорах, которые установлены на подвижный и вращающийся круглый стол. Пластина может устанавливаться вручную или с помощью робота. Она центрируется набором болтов с коническими концами. Они автоматически выравниваются согласно диаметру пластины. Вакуумные держатели, которые держат пластину, изготовлены из Делрина и обычно покрыты снаружи,для обеспечения точного расположения.

По команде компьютера активируются вакуумные держатели. В зависимости от выбранного диапазона толщины происходит повторное измерение, так чтобы емкостные датчики располагались напротив. Затем микропроцессор под управлением шагового двигателя устанавливает пластину радиально в воздушный зазор между двумя датчики. Там в самом первом измерительном положении 14-разрядный ЦАП измеряет толщину пластины и компенсирует измеряемый электронный сигнал так, чтобы быстрый АЦП должен был преобразовать вариации сигнала относительно этого ориентира. Это делается непрерывно, не останавливая движение пластины. После возврата пары датчиков в исходное положение, измерительный блок, наконец, производит замеры еще раз. Разницу между этим значением и первым можно использовать для оценки общего успеха сканирования.

Разрешение 10 нм
Пространственное разрешение 1 мм
Число точек опоры 4
Точность (Повторяемость), (одна пластина, одна точка измерения) 20 нм
Диапазон толщины 350-800 μm
Точность коробления 50μm

Особенности

Измерение изгиба и деформации не учитывают силу тяжести.