E+H. MX152 Высокоточная установка для измерения толщины и сопротивления

О MX152

MX 152 состоит из измерительной головки, электронной стойки, соединенной одним стандартным кабелем с 25-контактным D-коннектором и ПК.

Для осуществления трехстороннего сканирования толщины при передвижении пластины, используются две измерительных линейки, одна сверху и одна снизу,с закрепленными датчиками, по 3 на каждой.

Загрузить PDF файл


E+H. MX152 Высокоточная установка для измерения толщины и сопротивления

Производитель: E+H Metrology GMBH

Принцип измерения

Внешние пары датчиков располагаются слева и справа на линейной оси и могут перемещаться одновременно на равном расстоянии от центра с помощью ручного рычага.

Впереди и сзади каждого емкостного датчика устанавливаются световые барьеры для проверки измерений сенсора,в случае, если оба других закрыты. Это обеспечивает безопасные измерения даже при разных формах пластин или потери центровки. Для обеспечения безопасного начала и окончания измерения световые барьеры должны быть включены между двумя входящими пластинами. Поэтому располагаются на расстоянии не менее 30 мм. Опционально может быть добавлен датчик измерения удельного сопротивления и точечный датчик P / N.

Размер пластин 125 + 156 mm( круглые, квадратные)
Толщина пластин 100 – 300 μm,+/- 1 μm
Диаметр сенсоров 10 mm
Активная зона 5.5 мм Ø
Расстояние от края 5.5 мм
Сопротивление 0.2 – 30 ОМ*см

Особенности

Измерение изгиба и деформации не учитывают силу тяжести.