FRT. Установка MicroProf 200 для измерения характеристик тонких покрытий

Установка предназначена для проведения измерений, используя метод отражения со спектральным разрешением до 1 нм, что позволяет с высокой точностью измерять отдельные слоя у различных многослойных полупроводниковых материалов и оксидов. Измерение параметров может осуществляться совместно с MicroProf® и MicroGlider®.

FRT. Установка MicroProf 200 для измерения характеристик тонких покрытий

Производитель: FRT

Применение

MicroProf® 200 - это измерительный прибор, который позволяет бесконтактными методами определять различные параметры поверхности и слоёв всех видов. Используемые технологии позволяют минимизировать воздействие на измеряемый объект и практически исключить возможные разрушения слоев.

Устройство базируется на надёжной мультисенсорной технике FRT и предназначен для решения многочисленных измерительных задач в одной системе. С датчиком высокого разрешения CWL можно измерять топографию, шероховатость и контур объекта. Обширный выбор дополнительных датчиков облегчает приспособление MicroProf® 200 к индивидуальным задачам. С модулем двустороннего контроля образцов (TTV) или модулем автоматической обработки образцов (MHU) всегда можно приспособить MicroProf 200 к дополнительным измерительным задачам.

Системные характеристики
Сборка Gantry Design
Сенсоры Мульти-сенсор
Процесс сканирования
Зона движения датчиков 250 мм * 200 мм
Тип движения Прямое движение
Тип подшипника Скрещенный роликовый подшипник
Разрешение декодера 50 нм
Ровность < 2 µm / 100 мм
Максимальная скорость 300 мм/с
Возможная загрузка 5 кг
z-Оси Моторизированные оси
Движение по z-Оси 50 мм (100 мм опционально)
Системные требования
Требования к помещению Чистая комната без вибраций со стабильной температурой
Необходимое напряжение 110 В / 220 В постоянный ток, 1 Фаза
Размеры корпуса (Д*Ш*В) 1100 мм x 820 мм x 1800 м
Вес Приблизительно 500 кг.
Характеристики измерения (сенсор CWL 600 µm)
Диапазон измерения XY 250 мм x 200 мм
Диапазон измерения Z 600 µm
Разрешение (боковое) 2 µm
Разрешение (вертикальное) 6 нм

Особенности

  • Возможность работы с несколькими датчиками
  • Встроенная CCD-камера с дополнительной подсветкой
  • Контрольно-измерительный компьютер с TFT-монитором
  • Простой и эффективный контроль с помощью программы FRT Acquire
  • Полностью автоматизированные 2D и 3D измерения
  • Возможно приобретение дополнительного программного обеспечения для автоматизации автоматизации XT
  • Удобное для пользователя программное обеспечение для оценки FRT Mark III с многочисленными функциями оценки и отображения в соответствии со стандартами DIN-ISO и SEMI
  • Может использоваться с высокой степенью индивидуальной подстройки под задачи, а также может быть расширен в любое время
  • Прочное оборудование, требующее минимального обслуживания
  • Поддержка и консультации клиентов от экспертов FRT