FRT. Установка MicroProf 200 для измерения характеристик тонких покрытий
Установка предназначена для проведения измерений, используя метод отражения со спектральным разрешением до 1 нм, что позволяет с высокой точностью измерять отдельные слоя у различных многослойных полупроводниковых материалов и оксидов. Измерение параметров может осуществляться совместно с MicroProf® и MicroGlider®.
Производитель: FRT
Применение
MicroProf® 200 - это измерительный прибор, который позволяет бесконтактными методами определять различные параметры поверхности и слоёв всех видов. Используемые технологии позволяют минимизировать воздействие на измеряемый объект и практически исключить возможные разрушения слоев.
Устройство базируется на надёжной мультисенсорной технике FRT и предназначен для решения многочисленных измерительных задач в одной системе. С датчиком высокого разрешения CWL можно измерять топографию, шероховатость и контур объекта. Обширный выбор дополнительных датчиков облегчает приспособление MicroProf® 200 к индивидуальным задачам. С модулем двустороннего контроля образцов (TTV) или модулем автоматической обработки образцов (MHU) всегда можно приспособить MicroProf 200 к дополнительным измерительным задачам.
| Системные характеристики | |
| Сборка | Gantry Design |
| Сенсоры | Мульти-сенсор |
| Процесс сканирования | |
| Зона движения датчиков | 250 мм * 200 мм |
| Тип движения | Прямое движение |
| Тип подшипника | Скрещенный роликовый подшипник |
| Разрешение декодера | 50 нм |
| Ровность | < 2 µm / 100 мм |
| Максимальная скорость | 300 мм/с |
| Возможная загрузка | 5 кг |
| z-Оси | Моторизированные оси |
| Движение по z-Оси | 50 мм (100 мм опционально) |
| Системные требования | |
| Требования к помещению | Чистая комната без вибраций со стабильной температурой |
| Необходимое напряжение | 110 В / 220 В постоянный ток, 1 Фаза |
| Размеры корпуса (Д*Ш*В) | 1100 мм x 820 мм x 1800 м |
| Вес | Приблизительно 500 кг. |
| Характеристики измерения (сенсор CWL 600 µm) | |
| Диапазон измерения XY | 250 мм x 200 мм |
| Диапазон измерения Z | 600 µm |
| Разрешение (боковое) | 2 µm |
| Разрешение (вертикальное) | 6 нм |
Особенности
- Возможность работы с несколькими датчиками
- Встроенная CCD-камера с дополнительной подсветкой
- Контрольно-измерительный компьютер с TFT-монитором
- Простой и эффективный контроль с помощью программы FRT Acquire
- Полностью автоматизированные 2D и 3D измерения
- Возможно приобретение дополнительного программного обеспечения для автоматизации автоматизации XT
- Удобное для пользователя программное обеспечение для оценки FRT Mark III с многочисленными функциями оценки и отображения в соответствии со стандартами DIN-ISO и SEMI
- Может использоваться с высокой степенью индивидуальной подстройки под задачи, а также может быть расширен в любое время
- Прочное оборудование, требующее минимального обслуживания
- Поддержка и консультации клиентов от экспертов FRT