FRT. Установка для измерения характеристик тонких покрытий MicroProf 100
MicroProf 100- универсальный инструмент измерения характеристик поверхности для простого и быстрого определения топографии, толщины пленки и всего образца. Прибор основан на надежной мультисенсорной технологии FRT, в которой различные методы измерения, обычно требующие комбинации нескольких устройств, гибко объединены в одной компактной измерительной системе. MicroProf® 100 может быть расширен для двухстороннего исследования образца. Таким образом, возможно одновременное измерение образца с двух сторон и определение толщины образца в процессе измерения. Благодаря модульной конструкции, MicroProf® 100 может быть оптимально адаптирован к конкретной измерительной задаче. Помимо различных датчиков (методов измерения) прибор также может быть оснащен соответсвующими пакетам программного обеспечения..
Производитель: FRT
Применение
MicroProf® принадлежит к FRT-семейству мультисенсорных приборов для измерения поверхностных характеристик и может гибко приспосабливаться к требованиям пользователя посредством легкой смены датчиков. Среди прочих методов, может быть применён принцип хроматического измерения расстояний.Свет высокоинтенсивного светодиода через измерительную головку с фокусным расстоянием, сильно зависящим от длины волны, фокусируется на поверхности. Спектр отражённого поверхностью света имеет характерный пик данной длины волны, определяющий высоту элемента поверхности. На основе этого принципа измерительный прибор прекрасно работает практически на всех поверхностях любых материалов: от высокоотражающих зеркал до сильно поглощающих пластиков и многого другого.
| Системные характеристики | |
| Сборка | Gantry Design |
| Сенсоры | Мульти-сенсор |
| Область перемещения | 150 мм x 100 мм |
| Привод | шпиндель |
| Тип подшипника | Скрещенный роликовый подшипник |
| Разрешение декодера | 50 нм |
| Ровность | < 2 µm / 100 мм |
| Максимальная скорость | 100 мм/с |
| Возможная загрузка | 5 кг |
| z-Оси | Моторизированные оси |
| Движение по z-Оси | 50 мм (100 мм опционально) |
| Системные требования | |
| Требования к помещению | Чистая комната без вибраций со стабильной температурой |
| Необходимое напряжение | 110 В / 220 В постоянный ток, 1 Фаза |
| Размеры корпуса (Д*Ш*В) | 550 мм x 400 мм x 690 мм |
| Вес | Приблизительно 100 кг. |
| Характеристики измерения | сенсор CWL 600 µm |
| Диапазон измерения XY | 150 мм x 100 мм |
| Диапазон измерения Z | 600 µm |
| Разрешение (боковое) | 2 µm |
| Разрешение (вертикальное) | 6 нм |
Особенности
- Возможность работы с несколькими датчиками
- Встроенная CCD-камера с дополнительной подсветкой
- Контрольно-измерительный компьютер с TFT-монитором
- Простой и эффективный контроль с помощью программы FRT Acquire
- Полностью автоматизированные 2D и 3D измерения
- Возможно приобретение дополнительного программного обеспечения для автоматизации автоматизации XT
- Удобное для пользователя программное обеспечение для оценки FRT Mark III с многочисленными функциями оценки и отображения в соответствии со стандартами DIN-ISO и SEMI
- Может использоваться с высокой степенью индивидуальной подстройки под задачи, а также может быть расширен в любое время
- Прочное оборудование, требующее минимального обслуживания
- Поддержка и консультации клиентов от экспертов FRT