Производители
Оборудование для производства и обработки пластин
Установки, предлагаемые нашей компанией, используются при производстве микроэлектронных схем, силовой электроники, СВЧ-электроники, оптоэлектроники, в лабораториях и на производственных предприятиях. Наше оборудование предназначено для:
- фотолитографических процессов
- плазмохимического травления различных структур
- легирования полупроводниковых пластин
- металлизации различных интегральных схем
- ионной имплантации
- формирования проводящих покрытий и резистивных слоев;
- нанесения многокомпонентных составов;
- химического и плазмохимического напыления;
- ионно-вакуумного напыления;
- вакуумного напыления металлов на различные поверхности.
