Polyteknik.Установка двустороннего магнетронного напыления Discovery 501 Dual Side
Cryofox Discovery 501ds представляет собой однокамерную установку вакуумного осаждения тонких пленок, использующую магнетронное распыление для нанесения тонких слоев как металлов, так и керамики. Устройство позволяет производить осаждение тонкопленочных структур одновременно с двух сторон без разрыва вакуума. Эта установка способна обрабатывать как подложки неправильной геометрической формы, так и полупроводниковые пластины до 8 дюймов (200 мм), а также различные трехмерные объекты. Система предназначена в первую очередь для малосерийного производства высококачественных электронных компонентов или оптики.
Скачать файл
Производитель: Polyteknik
Применение
- Станок использует технологию высокоточной обработки с одним шпинделем и двумя шлифовальными кругами.
- Станок может использоваться в полностью автоматизированных условиях, обеспечивая высокую точность конечных продуктов за счет жесткой конструкции.
- Ленточный транспортер обеспечивает автономную выгрузку пластин. Вакуумный манипулятор на первой позиции переворачивает пластину и перемещает ее в центрирующее устройство. Пластина тщательно центрируется и помещается в одно из двух вакуумных удерживающих устройств на поворотном столе. В это время второе удерживающее устройство находится на противоположном конце стола в рабочей позиции под шлифовальным кругом. Очищенная и высушенная пластина перемещается во вторую зону поворота, помещается на ленточный конвейер и затем в кассету.
| Диаметр пластины | 50,8 - 150 мм |
| Вместимость | 75 пластин (3 кассеты) |
| Шлифовальный круг | Максимальный диаметр: 400 мм Максимальная ширина обода: 164 мм |
| Шлифовальный шпиндель | Электрический шлифовальный шпиндель TSEV 160 s x 400. Двигатель на переменном токе 220/380 В, 4 кВт (5,5 л.с.), 1450 об/мин. Долговечная смазка, не требует обслуживания. |
| Подача | 0,1 - 0,5 мм/мин |
| Поворотный стол | Диаметр 490 мм Скорость стола: 0,05 - 30 об/мин 2 зажимные станции с вакуумным управлением. |
| Контроль и управление | |
| Оси поворотного стола | 3-осевой стол |
| Контроль обработки пластин и вспомогательные функции | Открытый для программистов код. Управление через персональный компьютер. |
| Подключение | |
| Общая нагрузка | 8 кВт |
| Электропитание (альтернативные данные по запросу) | 220/380 В, 50 Гц |
| Подключение воды | 1/2-дюймовые соединения для впуска и выпуска |
| Сжатый воздух | 4-6 атмосфер |
Особенности
- Высокие коэффициенты удаления с минимальным повреждением кристаллической структуры высокочувствительных и ценных материалов.
- Простои между операциями шлифования устранены за счет уникальной конструкции. Загрузка и выгрузка пластин происходят в ходе технологического процесса.
- Механизм с двумя подъемниками и накопителем на 75 пластин, состоящим из 3 кассет, обеспечивает непрерывный технологический процесс.