Polyteknik установка осаждения тонких пленок Discovery 605 SP

Discovery 605 SP – установка для одно-, двухстороннего напыления.Система осаждения тонких пленкок Cryofox Discovery 605 представляет собой стандартную систему осаждения, спроектированную и изготовленную по вашим спецификациям для производства QCM. Система представляет собой один компактный блок, содержащий как систему вакуума / процесса, так и систему управления.

Скачать PDF файл
 Polyteknik установка осаждения тонких пленок Discovery 605 SP

Производитель: Polyteknik

Источники располагаются в нижней и верхней частях технологической камеры, а крепление подложки установлено в двери, что обеспечивает вращательное движение вокруг вертикальной оси z.

Размеры 1400 x 1850 x 1540 мм (Ш x В x Г)
Вес около 1450 кг
Вакуумная камера 620 x 500 x 830 мм, Ш x В x Г, около 250 литров
Вакуумная система Стандартная
Базовое давление нижний предел1E-7 мбар
Электропитание 3 x 400 В, пик 5 кВА
Охлаждающее водоснабжение 20 C° +/- 2°
Требуемое охлаждение 18-25 ° C, максимальная пиковая мощность охлаждения 3 кВт

Особенности

  • Технологическая камера имеет переднюю дверцу с большими смотровыми стеклами
  • Пять магнетронов для 3 "мишеней, вкл. индивидуальный контроль затвора
  • Распыление DC и RF
  • Плазменная очистка, включая источник питания