Polyteknik установка осаждения тонких пленок Discovery 605 SP
Discovery 605 SP – установка для одно-, двухстороннего напыления.Система осаждения тонких пленкок Cryofox Discovery 605 представляет собой стандартную систему осаждения, спроектированную и изготовленную по вашим спецификациям для производства QCM. Система представляет собой один компактный блок, содержащий как систему вакуума / процесса, так и систему управления.
Скачать PDF файл
Производитель: Polyteknik
Источники располагаются в нижней и верхней частях технологической камеры, а крепление подложки установлено в двери, что обеспечивает вращательное движение вокруг вертикальной оси z.
| Размеры | 1400 x 1850 x 1540 мм (Ш x В x Г) |
| Вес | около 1450 кг |
| Вакуумная камера | 620 x 500 x 830 мм, Ш x В x Г, около 250 литров |
| Вакуумная система | Стандартная |
| Базовое давление | нижний предел1E-7 мбар |
| Электропитание | 3 x 400 В, пик 5 кВА |
| Охлаждающее водоснабжение | 20 C° +/- 2° |
| Требуемое охлаждение | 18-25 ° C, максимальная пиковая мощность охлаждения 3 кВт |
Особенности
- Технологическая камера имеет переднюю дверцу с большими смотровыми стеклами
- Пять магнетронов для 3 "мишеней, вкл. индивидуальный контроль затвора
- Распыление DC и RF
- Плазменная очистка, включая источник питания