Polyteknik.Установка электро-лучевого распыления Explorer 500 GLAD

Cryofox Explorer 500 GLAD – двухкамерный блок осаждения, оснащенный многоканальным электронно-лучевым испарителем и дополнительным источником ионной пушки. Двунаправленный носитель подложки способен точно позиционировать образец во время осаждения. Таким образом, могут быть отложены трехмерные упорядоченные массивы наноструктур из различных материалов.

Polyteknik.Установка электро-лучевого распыления Explorer 500 GLAD

Производитель: Polyteknik

Система состоит из загрузочной камеры с турбомоторной перекачкой и основной камеры с криогенной перекачкой. Эта комбинация дает короткое время откачки и высокую пропускную способность.

Размеры 1400 x 1250 x 2240 мм
Обеспечение электричеством Переменный ток 3 x 400 В
1-осевое вращение образца Неограниченное вращение 360 °, разрешение 0,1 °, скорость 1-10 об / мин
2-осевой угол наклона 0 – 90°, разрешение 0.1°
Электронная пушка Стандарт: 5 кВт с 4 тиглями 7 см³
Расстояние выброса Разброс 240 - 780 мм, механизированное позиционирование
Черновой насос Сухой насос 35 м³ / ч
Блокировка нагрузки, турбонасос 400 л / сек
Насос основной камеры Насос крио: воздух 4500 л / с или турбонасос: 2200 л / с
Базовое давление Основная камера 10E-8 мбар
Технологический газ Ar, N2, O2 для блокировки нагрузки и основной камеры
Ионная пушка Опциональное оборудование
Охлаждающее водоснабжение 20 C° +/- 2°
Требуемое охлаждение Турбонасос: 7,5 кВт или Крио-насос: 12 кВт<Турбонасос: 7,5 кВт или Крио-насос: 12 кВт/td>

Особенности

  • Двухмодульная конструкция камеры с загрузочным шлюзом
  • За один раз загружается одна 4-дюймовая (100 мм) подложка
  • Не более одного электронно-лучевого источника
  • Ионный источник для предварительного или вспомогательного осаждения
  • Усиленный электронный луч для контроля расстояния между источником и подложкой
  •  Подогрев основания
  •  Анализ остаточного газа