Polyteknik.Установка электро-лучевого распыления Explorer 500 GLAD
Cryofox Explorer 500 GLAD – двухкамерный блок осаждения, оснащенный многоканальным электронно-лучевым испарителем и дополнительным источником ионной пушки. Двунаправленный носитель подложки способен точно позиционировать образец во время осаждения. Таким образом, могут быть отложены трехмерные упорядоченные массивы наноструктур из различных материалов.
Производитель: Polyteknik
Система состоит из загрузочной камеры с турбомоторной перекачкой и основной камеры с криогенной перекачкой. Эта комбинация дает короткое время откачки и высокую пропускную способность.
| Размеры | 1400 x 1250 x 2240 мм |
| Обеспечение электричеством | Переменный ток 3 x 400 В |
| 1-осевое вращение образца | Неограниченное вращение 360 °, разрешение 0,1 °, скорость 1-10 об / мин |
| 2-осевой угол наклона | 0 – 90°, разрешение 0.1° |
| Электронная пушка | Стандарт: 5 кВт с 4 тиглями 7 см³ |
| Расстояние выброса | Разброс 240 - 780 мм, механизированное позиционирование |
| Черновой насос | Сухой насос 35 м³ / ч |
| Блокировка нагрузки, турбонасос | 400 л / сек |
| Насос основной камеры | Насос крио: воздух 4500 л / с или турбонасос: 2200 л / с |
| Базовое давление | Основная камера 10E-8 мбар |
| Технологический газ | Ar, N2, O2 для блокировки нагрузки и основной камеры |
| Ионная пушка | Опциональное оборудование |
| Охлаждающее водоснабжение | 20 C° +/- 2° |
| Требуемое охлаждение | Турбонасос: 7,5 кВт или Крио-насос: 12 кВт<Турбонасос: 7,5 кВт или Крио-насос: 12 кВт/td> |
Особенности
- Двухмодульная конструкция камеры с загрузочным шлюзом
- За один раз загружается одна 4-дюймовая (100 мм) подложка
- Не более одного электронно-лучевого источника
- Ионный источник для предварительного или вспомогательного осаждения
- Усиленный электронный луч для контроля расстояния между источником и подложкой
- Подогрев основания
- Анализ остаточного газа