Polyteknik.Установка Cryofox Tornado 306

Cryofox Tornado 306

Это компактная система для нанесения тонких пленок с помощью электронного луча, способная обрабатывать подложки диаметром до 200 мм. В стандартной комплектации она оснащена источником осаждения E-beam мощностью 3 кВт с тиглями 4 х 4 см 3 или 6 х 2 см 3 (карманы).

Система на самом деле является рабочей лошадкой для любой лаборатории, благодаря простому доступу, простоте в эксплуатации и высокой повторяемости процесса- это наиболее подходящий инструмент как для молодого студента, так и для очень опытного ученого.

Скачать PDF файл


Polyteknik.Установка Cryofox Tornado 306

Производитель: Polyteknik

Применение

  • Металлические покрытия для электродов
  • Снятие выгрузки для приложений MEMS
  • Металлы и оксиды
Вакуумная камера 300 x 600 x 350 мм,60 литров
Габариты 1240 x 1250 x 1600 мм
Вакуумные насосы Edwards nEXT 400, 400 l/s, Edwards XDS 35 m³/h сухой насос
Источник питания и источник электронного луча Макс. 3 кВт, 6-10 кВ, 4 х 4 см3 или 6 х 2 см 3 тиглей
Электропитание 3 x 400 В, пик 5 кВА

Особенности

  • Индивидуальные режим работы электронного луча, согласно заданным рецептам
  • Высокая точность повторения
  • Простая система рецептов
  • Высококачественная система турбомолекулярных насосов
  • Сухой насос от Edwards
  • Долговечная гибридная конфигурация подшипников ТМН
  • Высокая производительность