Polyteknik.Установка Cryofox Tornado 306
Cryofox Tornado 306
Это компактная система для нанесения тонких пленок с помощью электронного луча, способная обрабатывать подложки диаметром до 200 мм. В стандартной комплектации она оснащена источником осаждения E-beam мощностью 3 кВт с тиглями 4 х 4 см 3 или 6 х 2 см 3 (карманы).
Система на самом деле является рабочей лошадкой для любой лаборатории, благодаря простому доступу, простоте в эксплуатации и высокой повторяемости процесса- это наиболее подходящий инструмент как для молодого студента, так и для очень опытного ученого.
Производитель: Polyteknik
Применение
- Металлические покрытия для электродов
- Снятие выгрузки для приложений MEMS
- Металлы и оксиды
| Вакуумная камера | 300 x 600 x 350 мм,60 литров |
| Габариты | 1240 x 1250 x 1600 мм |
| Вакуумные насосы | Edwards nEXT 400, 400 l/s, Edwards XDS 35 m³/h сухой насос |
| Источник питания и источник электронного луча | Макс. 3 кВт, 6-10 кВ, 4 х 4 см3 или 6 х 2 см 3 тиглей |
| Электропитание | 3 x 400 В, пик 5 кВА |
Особенности
- Индивидуальные режим работы электронного луча, согласно заданным рецептам
- Высокая точность повторения
- Простая система рецептов
- Высококачественная система турбомолекулярных насосов
- Сухой насос от Edwards
- Долговечная гибридная конфигурация подшипников ТМН
- Высокая производительность