Polyteknik.Установка FLEXTURA PVD
Flextura PVD
FLEXTURA Cluster Polyteknik AS представляет собой многофункциональный инструмент для осаждения, предлагающий невиданную гибкость в технологических решениях.Система создана для стандартной обработкb пластины SEMI, высококачественных компонентов и может быть оснащена стандартными модулями распыления, а также недавно разработанными модулями, предлагающими новые возможности для развития
Производитель: Polyteknik
Применение
- Эпитаксиальный рост
- HiPIMS-распыление (высоко ионизированная) камера
- Металлизация с высокой четкостью параметров
- Металлизация TSV
- Настройка толщины нанесения
- Покрытия DLC
| Передающая камера | Шестиугольная центральная передаточная камера с полным автоматическим роботом для обработки пластин |
| Процессные модули | До 5 (1 порт загрузки) |
| Порта загрузки | До двух Кассет |
| Кассета | Стандарт SEMI или индивидуальные параметры |
| Программное обеспечение | Cryosoft3 работает на платформе Windows |
Особенности
- Прямое магнетронное распыление (DC, RF и PDC)
- Мультимагнетронная камера (Co-sputtering)
- Испарение электронным лучом
- Травление RF / ICP, дегазация, охлаждение, станция выравнивания
- Отдельная пластина или пакетная обработка непосредственно из кассеты в кассету
- Управление процессом на месте с контуром обратной связи
- RGA
- PEM
- Единая область модулей процессов, доступна как автономные система с/без единого загрузочного устройства