Polyteknik.Установка FLEXTURA PVD

Flextura PVD

FLEXTURA Cluster Polyteknik AS представляет собой многофункциональный инструмент для осаждения, предлагающий невиданную гибкость в технологических решениях.Система создана для стандартной обработкb пластины SEMI, высококачественных компонентов и может быть оснащена стандартными модулями распыления, а также недавно разработанными модулями, предлагающими новые возможности для развития

Скачать PDF файл


Polyteknik.Установка FLEXTURA PVD

Производитель: Polyteknik

Применение

  • Эпитаксиальный рост
  • HiPIMS-распыление (высоко ионизированная) камера
  • Металлизация с высокой четкостью параметров
  • Металлизация TSV
  • Настройка толщины нанесения
  • Покрытия DLC
Передающая камера Шестиугольная центральная передаточная камера с полным автоматическим роботом для обработки пластин
Процессные модули До 5 (1 порт загрузки)
Порта загрузки До двух Кассет
Кассета Стандарт SEMI или индивидуальные параметры
Программное обеспечение Cryosoft3 работает на платформе Windows

Особенности

  • Прямое магнетронное распыление (DC, RF и PDC)
  • Мультимагнетронная камера (Co-sputtering)
  • Испарение электронным лучом
  • Травление RF / ICP, дегазация, охлаждение, станция выравнивания
  • Отдельная пластина или пакетная обработка непосредственно из кассеты в кассету
  • Управление процессом на месте с контуром обратной связи
  • RGA
  • PEM
  • Единая область модулей процессов, доступна как автономные система с/без единого загрузочного устройства