Polyteknik.Установка Cryofox Tornado 405 магнетронного напыления

Cryofox Tornado 405 представляет собой компактную систему распыления для подложек до 100 мм, оснащенную держателем подложки и наклонной головкой с водяным охлаждением. В стандартном варианте она оснащена двумя 3-дюймовыми магнетронами для однократного или соосаждения с помощью ВЧ-реактивного распыления, источника переменного тока, и сухих вакуумных насосов.

Данная система - это действительно рабочая лошадка,благодаря простому доступу,легкости в эксплуатации и высокой повторяемости процесса- это универсальный инструмент как для молодого студента, так и для очень опытного ученого.

Скачать PDF файл

Polyteknik.Установка Cryofox Tornado 405 магнетронного напыления

Производитель: Polyteknik

Применение

  • Оксидные и нитридные покрытия
  • Сортированные слои металлокерамики
  • Металлизация электродов
  • Гидрофобные или гидрофильные керамические слои
  • Металлические электроды для фотоэлектрических образцов.
  • Станок может использоваться в полностью автоматизированных условиях, обеспечивая высокую точность конечных продуктов за счет жесткой конструкции.
Вакуумная камера 400 x 500 x 485 мм,60 литров
Габариты 1240 x 1250 x 1500 мм
Высокоакуумные насосы Турбомолекулярный насос 400 l/s
Плазменная очистка Источник и питание 1400 В, 50 Гц
Электропитание 3 x 400 В, пик 1,5 кВА

Особенности

  • Система может работать в полностью автоматическом или ручном режиме
  • Расширенное программное решение, установленное для обеспечения гибкости и простоты использования,/li>
  • Программное обеспечение может содержать до 100 рецептов
  • Встроенный ПК с программным обеспечением Windows 7
  • Многослойное программирование, встроенное в программное обеспечение
  • Кнопка программного обеспечения для ручного запуска осаждения после автоматических циклов откачки.