Polyteknik.Установка Cryofox Tornado 405 магнетронного напыления
Cryofox Tornado 405 представляет собой компактную систему распыления для подложек до 100 мм, оснащенную держателем подложки и наклонной головкой с водяным охлаждением. В стандартном варианте она оснащена двумя 3-дюймовыми магнетронами для однократного или соосаждения с помощью ВЧ-реактивного распыления, источника переменного тока, и сухих вакуумных насосов.
Данная система - это действительно рабочая лошадка,благодаря простому доступу,легкости в эксплуатации и высокой повторяемости процесса- это универсальный инструмент как для молодого студента, так и для очень опытного ученого.
Производитель: Polyteknik
Применение
- Оксидные и нитридные покрытия
- Сортированные слои металлокерамики
- Металлизация электродов Гидрофобные или гидрофильные керамические слои
- Металлические электроды для фотоэлектрических образцов.
- Станок может использоваться в полностью автоматизированных условиях, обеспечивая высокую точность конечных продуктов за счет жесткой конструкции.
| Вакуумная камера | 400 x 500 x 485 мм,60 литров |
| Габариты | 1240 x 1250 x 1500 мм |
| Высокоакуумные насосы | Турбомолекулярный насос 400 l/s |
| Плазменная очистка | Источник и питание 1400 В, 50 Гц |
| Электропитание | 3 x 400 В, пик 1,5 кВА |
Особенности
- Система может работать в полностью автоматическом или ручном режиме
- Расширенное программное решение, установленное для обеспечения гибкости и простоты использования,/li>
- Программное обеспечение может содержать до 100 рецептов
- Встроенный ПК с программным обеспечением Windows 7
- Многослойное программирование, встроенное в программное обеспечение