Polyteknik .Установка двустороннего магнетронного напыления Discovery 600 EB SP
Установка магнетронного напыления Explorer 600 EB SP
Cryofox Discovery 600 EB SPCryofox Explorer 600 представляет собой комбинацию систем с очень большим объёмом, оснащенную одним источником электронного луча и двумя 2-дюймовыми магнетронами, индивидуально питаемыми от источника постоянного тока.
Имеет раздельное строение камер: держатель подложки с водяным охлаждением помещены в верхнюю камеру (загрузочную камеру), а источники испарителя расположены в основной камере внизу. Данная установка предлагает множество возможностей, включая одновременное осаждение и реактивные процессы напыления. Программное обеспечение Cryosoft 3 обеспечивает уникальный контроль процесса депонирования, а также один из лучших и удобных для пользователя интерфейсов. Это увеличивает качество полученного результата исследований даже в многопользовательской среде.
Производитель: Polyteknik
Применение
- Система может работать как в полностью автоматическом, так и ручном режиме..
- Расширенное программное решение для обеспечения гибкости и простоты использования.
- Программное обеспечение может содержать до 100 рецептов
- Многослойное программирование, встроенное в программное обеспечение
| Диаметр пластины | 50,8 - 150 мм | |
| Габариты | 1400 x 1860 x 1250 мм | |
| Вес | около 1500 кг | |
| Основная камера, версия LT | 290 x 785 x 380 мм, Ш x В x Г, около 87 литров | |
| Основная камера, версия ST | 290 x 410 x 380 мм, Ш x В x Г, около 45 литров | |
| Загрузочная камера | 290 x 265 x 580 мм, Ш x В x Г, около 45 литров | |
| Подключение | ||
| Базовое давление | 1E-7 мбар | |
| Электропитание (альтернативные данные по запросу) | 3 x 400 В, пик 7 кВА | |
| Подключение воды | 18-25 C, максимальная мощность охлаждения 6 кВт> | |
| Поток охлаждающей воды | 18 л / мин, макс. Перепад давления 5 бар |
Особенности
- Высокое соотношение цены и качества
- Единое строение
- Программное обеспечение Cryosoft3 - быстрая и продвинутая разработка процесса