Polyteknik .Установка двустороннего магнетронного напыления Discovery 600 EB SP

Установка магнетронного напыления Explorer 600 EB SP

Cryofox Discovery 600 EB SPCryofox Explorer 600 представляет собой комбинацию систем с очень большим объёмом, оснащенную одним источником электронного луча и двумя 2-дюймовыми магнетронами, индивидуально питаемыми от источника постоянного тока.

Имеет раздельное строение камер: держатель подложки с водяным охлаждением помещены в верхнюю камеру (загрузочную камеру), а источники испарителя расположены в основной камере внизу. Данная установка предлагает множество возможностей, включая одновременное осаждение и реактивные процессы напыления. Программное обеспечение Cryosoft 3 обеспечивает уникальный контроль процесса депонирования, а также один из лучших и удобных для пользователя интерфейсов. Это увеличивает качество полученного результата исследований даже в многопользовательской среде.

Скачать PDF файл


Polyteknik .Установка двустороннего магнетронного напыления Discovery 600 EB SP

Производитель: Polyteknik

Применение

  • Система может работать как в полностью автоматическом, так и ручном режиме..
  • Расширенное программное решение для обеспечения гибкости и простоты использования.
  • Программное обеспечение может содержать до 100 рецептов
  • Многослойное программирование, встроенное в программное обеспечение
Диаметр пластины 50,8 - 150 мм
Габариты 1400 x 1860 x 1250 мм
Вес около 1500 кг
Основная камера, версия LT 290 x 785 x 380 мм, Ш x В x Г, около 87 литров
Основная камера, версия ST 290 x 410 x 380 мм, Ш x В x Г, около 45 литров
Загрузочная камера 290 x 265 x 580 мм, Ш x В x Г, около 45 литров
Подключение
Базовое давление 1E-7 мбар
Электропитание (альтернативные данные по запросу) 3 x 400 В, пик 7 кВА
Подключение воды 18-25 C, максимальная мощность охлаждения 6 кВт>
Поток охлаждающей воды 18 л / мин, макс. Перепад давления 5 бар

Особенности

  • Высокое соотношение цены и качества
  • Единое строение
  • Программное обеспечение Cryosoft3 - быстрая и продвинутая разработка процесса