G&N.Полуавтоматическая установка шлифования пластин MPS R400DS

Серия установок MPS R400 – одна из самых современных установок с точки зрения качества шлифования и эргономики. Полностью защищенная рабочая зона удовлетворяет всем требованиям безопасности работы оператора и снижает риск загрязнений рабочей области. Технология работы установки была усовершенствована для максимальной точности обработки металлов, кремния и других полупроводниковых материалов в условиях мелкосерийного производства и научно-исследовательских работах.

G&N.Полуавтоматическая установка шлифования пластин MPS R400DS

Производитель: G&N

Применение

В основном установка MPS R400DS применяется для шлифовки пластин из кремния и арсенида галлия диаметром от 50мм до 150мм.

  • Два шлифовальных круга на одном шпинделе экономят время на смене кругов для чернового и чистового шлифования.
  • Полностью закрытая рабочая зона гарантирует безопасность работы с установкой.
  • Алмазные шлифовальные круги обеспечивают высокую продуктивную точность.
  • Автоматические программы помогают сотрудникам экономить время при работе над типовыми задачами.
  • Вакуумные держатели надежно фиксируют заготовку и обеспечивают высокую точность шлифовки.
Двигатель 3.7 кВт
Скорость шпинделя 2850 об/мин
Общая мощность 5,5 кВт
Точность 2 мкм
Шлифовальный круг 200х34х76 мм
Вращающийся стол 400 мм
Скорость вращения стола 0-30 об/мин
Вакуумные держатели 28x2”, 16x3”, 8x4”, 5x5”, 4x6”
Диапазон 170 мм
Минимальный шаг 1 мкм
Вес 980 кг
Занимаемая площадь 1550 х 1130 мм

Особенности

  • Высокоточный четырехфазный мотор с бесступенчатой сменой скоростей обеспечивает безупречную плавность шлифовки.
  • Широкие возможности автоматизации процессов за счет программируемых логических контроллеров.
  • Имеется возможность применения дополнительного измерительного блока, который позволит компенсировать тепловой эффект и снизить износ шлифовального круга.
  • Полное закрытие зоны, где происходит шлифование, обеспечивает большую безопасность и чистоту.