G&N.Установка врезного шлифования MPS T500

Прецизионный шлифовальный станок используется для шлифования обратной стороны полупроводниковых пластин. В установке MPS T500 применяется метод врезного шлифования, который позволяет достичь высокой гибкости точности шлифования и превосходных метрологических характеристик.

G&N.Установка врезного шлифования MPS T500

Производитель: G&N

Применение

  • Станок использует технологию высокоточной обработки с одним шпинделем и двумя шлифовальными кругами.
  • Станок может использоваться в полностью автоматизированных условиях, обеспечивая высокую точность конечных продуктов за счет жесткой конструкции.
  • Ленточный транспортер обеспечивает автономную выгрузку пластин. Вакуумный манипулятор на первой позиции переворачивает пластину и перемещает ее в центрирующее устройство. Пластина тщательно центрируется и помещается в одно из двух вакуумных удерживающих устройств на поворотном столе. В это время второе удерживающее устройство находится на противоположном конце стола в рабочей позиции под шлифовальным кругом. Очищенная и высушенная пластина перемещается во вторую зону поворота, помещается на ленточный конвейер и затем в кассету.
Диаметр пластины 50,8 - 150 мм
Вместимость 75 пластин (3 кассеты)
Шлифовальный круг Максимальный диаметр: 400 мм
Максимальная ширина обода: 164 мм
Шлифовальный шпиндель Электрический шлифовальный шпиндель TSEV 160 s x 400. Двигатель на переменном токе 220/380 В, 4 кВт (5,5 л.с.), 1450 об/мин. Долговечная смазка, не требует обслуживания.
Подача 0,1 - 0,5 мм/мин
Поворотный стол Диаметр 490 мм
Скорость стола: 0,05 - 30 об/мин
2 зажимные станции с вакуумным управлением.
Контроль и управление
Оси поворотного стола 3-осевой стол
Контроль обработки пластин и вспомогательные функции Открытый для программистов код. Управление через персональный компьютер.
Подключение
Общая нагрузка 8 кВт
Электропитание (альтернативные данные по запросу) 220/380 В, 50 Гц
Подключение воды 1/2-дюймовые соединения для впуска и выпуска
Сжатый воздух 4-6 атмосфер

Особенности

  • Высокие коэффициенты удаления с минимальным повреждением кристаллической структуры высокочувствительных и ценных материалов.
  • Простои между операциями шлифования устранены за счет уникальной конструкции. Загрузка и выгрузка пластин происходят в ходе технологического процесса.
  • Механизм с двумя подъемниками и накопителем на 75 пластин, состоящим из 3 кассет, обеспечивает непрерывный технологический процесс.